碳化硅晶圓表面打磨，用中西6萬轉自動換刀浮動主軸

    碳化硅晶圓表面打磨拋光，機械臂加裝中西NAKANISHI自動換刀浮動主軸NR3060-AQC，功率350W，轉速6萬轉每分鐘，旋轉跳動精度1μm以內，搭配浮動刀把，可實現(xiàn)徑向軸向雙向打磨。

如圖所示，碳化硅晶圓表面打磨，用人工去除效率低，成本高，若采用自動化方式，一能節(jié)省成本，二能提高產(chǎn)品的良品率。這款3060AQC自動換刀浮動主軸是目前在機械臂去毛刺領域比較受歡迎的浮動打磨主軸。

    3060AQC自動換刀主軸，除了可以實現(xiàn)氣動換刀之外，還可以實現(xiàn)徑向、軸向雙向浮動，浮動力可調節(jié)，可防止過度打磨的情況發(fā)生，有利于保持產(chǎn)品良好的光潔度。